1 用途
SiA200是一种的电容体的MEMS加速度计，专为惯性应用设计。长期稳定性好，标度因数重复性，低运行偏差，振动整流误差以及低噪音等方面具备明显优势。内部集成了信号调理、模拟±2.7V输出、内置自检电路和一个温度传感器方便用户进行补偿。能够为高精度测量需求提供有效可靠的支撑。
2 产品特点(±30g)
l 运行偏差稳定性：45μg
l 极好的长期零偏重复性：3.6mg
l 非线性度：±0.3%FS
l 严苛环境下具备极高可靠性
l LCC20，气密封装
3 产品应用
【航空航天】惯性测量单元IMU、航空电子、姿态控制、平台稳定系统、GPS辅助制导、无人机导航系统、机器人技术等
【海基陆基】寻北、声纳定位、船舶航海和控制、手持机地图、载具定位等
【地质勘探】LWD、MWD、钻井导向、盾构机等
4 性能参数
参数 | 型号 | 单位 | SiA202 | SiA210 | SiA230 | SiA2100 |
量程 | g | ±2 | ±10 | ±30 | ±100 |
偏值 | mg | 0.14 | 0.7 | 2.1 | 7 |
偏值重复性 | mg | 0.05 | 0.2 | 0.45 | 0.5 |
偏值稳定性 | μg | 3 | 15 | 45 | 150 |
标度因数 | mV/g | 1350 | 270 | 90 | 27 |
标度因数重复性 | ppm | 400 |
标度因数稳定性 | ppm | 120 |
失准角 | mrad | 10 |
阈值（1Hz） | μg rms | 7 | 34 | 102 | 340 |
非线性（IEEE ） | % FS | 0.3 |
工作温度 | ℃ | -40～125 |
功耗 | mW | 10 |
尺寸 | mm2 | 9×9 |
5 绝对最大额定值
参数 | 条件 | 单位 | 最小值 | 最大值 |
供电电压 |
| V | -0.3 | +3.9 |
任何PIN电压 |
| V | -0.3 | VDD+0.3 |
操作温度 |
| ℃ | -40 | 125 |
储存温度 |
| ℃ | -55 | 125 |
振动 | 随机 | g |
| 20 |
冲击 | 单次冲击/0.2ms/6方向 | g |
| 1500 |
ESD 应力 | HBM模式 | kV | -1 | 1 |
