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石英挠性加速度计和MEMS加速度计的工作原理及比较

加速度计是一种测量物体加速度的传感器,广泛应用于航空、汽车、手机、智能手表等领域。在加速度计技术的发展过程中,石英挠性加速度计(Quartz-flexure Accelerometer)和MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)加速度计成为了两个主要的技术路线。


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石英挠性加速度计采用了石英材料的挠性形变原理,利用外力作用于挠性臂上的质量,使其产生挠动,并测量挠动信号的变化量来确定加速度。石英挠性加速度计具有高精度、高灵敏度、高稳定性等优点,但是制造成本高,体积较大。


MEMS加速度计则采用微电子机械系统技术,利用微型的机械结构和电子元件实现加速度的测量。MEMS加速度计具有体积小、重量轻、功耗低、成本低等优点,但精度和稳定性相对较低。


石英挠性加速度计和MEMS加速度计在应用领域上也有一定的差异。由于石英挠性加速度计具有高精度和高稳定性,因此在军事、航天等高端领域应用广泛。而MEMS加速度计则由于其小体积、低功耗和低成本的特点,被广泛应用于消费电子、汽车安全系统、运动手环等领域。


总的来说,石英挠性加速度计和MEMS加速度计在测量原理、制造工艺、性能指标、应用领域等方面存在较大的差异。选择哪一种加速度计需要根据实际需求和应用场景来综合考虑,以取得更好的效果。


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